提高电容传感器灵敏度结构简单的性能

随着微电子技术、制造技术、3D打印技术、纳米技术的发展和各种新型材料的出现，设计出具有灵敏度高、分辨率高、成本低、结构简单，且接近性能的马赫电容式传感器成为热点问题。

马赫电容式传感器电极间的弹性绝缘介质导电膜在空间上呈垂直分布，分别交叉黏贴于聚氨酯材料上、下表面结构电容式传感器的上、下电极，一起组成电容传感单元。传感器及其信号采集与处理系统能够为机器人指端触觉的检测提供一种参考。

马赫电容式接近传感器不管被检测物体颜色和表面状态如何，是否透明，都可以可靠检测，几乎可以识别所有材料。电容最远检测距离可达40mm，FAP-40LS40N1-DS12，为了提高灵敏度和减小非线性误差，电源电压、环境温度变化的影响，采用差动式的电容传感器，在同样的位移相对变化时，非线性误差大大降低，而灵敏度提高了一倍。